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半导体材料四探针测试仪工作原理及应用概述

2023-08-15 04:04:06    来源：哔哩哔哩


(资料图)

四探针测试仪工作原理及应用概述

半导体材料四探针测试仪是一种用于测量半导体材料电学性质的仪器。它通过四个探针与样品接触，可以快速、准确地测量样品的电阻率、方阻、薄层电阻、表面电阻、晶格常数、原子密度等电学性质。四探针测试仪的测量原理是，通过电流从四个探针流入样品，测量探针之间的电压和电流，从而计算出样品的电学性质。其中，两个探针作为电流源，另外两个探针作为电压测量计。

四探针测试仪在半导体材料的研究和应用中具有广泛的价值。例如，它可以被用于测量硅单晶的电阻率，判断其导电性能；或者被用于测量薄膜的电阻，评估其电性能。同时，由于其非破坏性和快速准确的优点，四探针测试仪在半导体工业中得到了广泛应用，可用于生产过程中的质量控制，以及评估新材料的性能。

请注意，使用四探针测试仪时，应按照规定的操作步骤进行，以保证测试结果的准确性和可靠性。此外，具体的测试方法和结果解读可能需要一定的专业知识和经验

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